管状炉 TUBE FURNACES

使用目的に応じて横型・縦型管状炉が選択でき、とくに難易度の高い縦型多ゾーン制御式での実績が豊富です。炉芯管材質は、使用温度・雰囲気によりSUS、石英、アルミナ等のセラミック、カーボン等に対応可能で、温度勾配仕様、高真空仕様、酸素濃度制御、露点制御、プログラム加圧制御等の高精度な雰囲気制御などのオプション仕様もラインナップしております。